EUV极紫外光刻机虽然出自欧洲的刻机荷兰 ,但是欧的欧洲一直没有自己的EUV生产线,直到现在。洲第自己
当地时间9月29日 ,生产位于爱尔兰莱克斯利普(Lexilip)邻近的刻机Intel Fab 34晶圆厂,正式开头使用EVU光刻工艺大规模量产生产Intel 4工艺的欧的Meteor Lake处理器,也就是洲第自己酷睿Ultra 。
Intel CEO帕特·基辛格、生产技术开发总经理Ann Kelleher博士 、刻机首席全球运营官Keyvan Esfarjani将参加开工仪式。欧的
这是洲第自己美国本土俄勒冈州Fab D1之后,Intel第二座量产Intel 4 EUV工艺的生产晶圆厂 ,也是刻机欧洲第一次有了自己的EUV生产线 。
Intel使用了所谓的欧的"Copy Exactly!"(精准复制),将美国工厂的洲第自己生产线百分百复刻到爱尔兰工厂 ,以提高良率、保证性能一致性。
Intel 4工艺也就是曾经的7nm,号称相比Intel 7(10nm ESF)在同等功耗下频率提升21.5%,同等频率下功耗降低40%,晶体管密度增加1倍,这其中很大的功劳都来自EUV。